Capteurs pour vide

Principe de mesure des capteurs pour vide

capacitance pressure sensor

Le vide est appliqué sur un diaphragme se trouvant à l’intérieur des capteurs pour vide.

Ensuite un système par capacité transforme le déplacement en signaux électrique.

 

 

 

 

ModèlePhotoFabriquantPrincipeRange F.S. (Torr)TempératurePrécision RedingOutputDatasheet
CMCBrooks InstrumentMesure du vide par capacité non chauffé
10,20,50,100,200,1000Unheated
0,25% / 0,5%0-10 VDC
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XacTorr – CMX SeriesBrooks InstrumentMesure du vide par capacité chauffé0.1,1,2,10,20,100,100045 or 100 or 160°C0.15 or 0.25% of readinganalogue / Rs485 / DeviceNettélécharger la datasheet ou le manuel
VersaTorr BVT100Brooks InstrumentVacuum Gauges7.5 x 10-7 to 1000 Torr-20 to 85°C 0.5 to 25% of readingRS232 / RS485télécharger la datasheet ou le manuel