Thermal mass flow controllers ( Débitmètres massiques thermiques )

Principe du Thermal Mass Flow

Le principe de fonctionnement des ( Thermal mass flow controllers ) débitmètres massiques BROOKS est basé sur les lois de la thermodynamique. Une quantité connue de calories est émise dans un flux de gaz. On mesure la variation de température du gaz qui est proportionnelle à la masse de gaz. Ce principe permet donc d’affranchir la mesure des variations de température et de pression, et d’obtenir un signal de débit massique.

Le système de détection est composé de trois éléments :

une résistance de détection de température amont,
une résistance de chauffage,
une résistance de détection de température aval.

Les deux résistances de détection font partie des deux branches d’un pont de Wheatstone. Pour un débit nul, le pont est équilibré. Dès qu’il y a débit il y a transfert de calories donc variation de résistances entraînant un déséquilibre du pont de Wheatstone. Le signal qui en résulte est convenablement amplifié et linéarisé.

Les domaines d’application sont variés : Centres de recherches, industries pharmaceutiques, biomédicales, agro-alimentaires, chimiques ou pétrochimiques.

Parmi les différents débitmètres massiques thermiques, on distingue deux catégories :

Mesureur simple : Il mesure et retransmet l’image du débit par signal analogique ou digital.
Contrôleur de débit : Ce type de mesureur est muni au sein du même instrument d’un régulateur de débit de type PID. Il retransmet et contrôle le débit de gaz paramétré au préalable. Le débit est fixé par le mode analogique ou digital, en entrée ou en sortie.

Modèle	Type	Fullscale capacity	Précision	Pression max (Bar)	Température Max (°C)	Signaux IN/OUT
SLA5800	Thermal Mass Flow Controler joint elastomer ou métallique	3sccm-2500slpm	1% rate ou 0,7% rate , 0,2%F.S.	310	65	0-5VDC , 4-20mA , RS-485 , DeviceNet , Foundationfieldbus
GF40/80	Thermal Mass Flow Controleur joint métallique Multi flow	3sccm-50slpm	+/-1% of rate	10	5-50°c	0-5 Vdc / 4-20 mA / Profibus / RS485 / DeviceNet
SLA MF50-63	Industrial Thermal Mass Flow Controleur	3sccm-2500slpm	1% rate ou 0,7% rate , 0,2%F.S.	310	65	0-5VDC , 4-20mA , RS-485 ,DeviceNet, Foundationfieldbus, Profibus