Conception et rĂ©alisation d’une platine dĂ©diĂ©e Ă  la gestion du silane (SiH₄)

🔧 Composition de l’installation :
‱ Centrale de dĂ©tente & dĂ©tendeur Rotarex SMT
‱ Plusieurs vannes UHP Rotarex, à commande pneumatique ou manuelle
‱ RotamĂštre Brooks Instrument pour la mesure du dĂ©bit
‱ SĂ©curisation assurĂ©e par soupapes et capteurs de pression

đŸ›Ąïž La sortie du SiH₄ est rĂ©alisĂ©e en tube double paroi, inertĂ© et contrĂŽlĂ© Ă  l’azote.

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