Générateur de vide
Un générateur de vide est un dispositif de sécurité essentiel conçu pour la purge des lignes de gaz avant l’ouverture des bouteilles ou la déconnexion des conduites de gaz. Utilisé dans l’industrie des semi-conducteurs, il évacue efficacement les gaz de procédé résiduels, évitant ainsi toute exposition à des substances nocives ou réactives.
En créant un vide, il minimise les risques de fuites, d’explosions ou d’accumulation de pression lors des opérations de maintenance et des changements de bouteilles, garantissant un environnement de travail plus sûr.
Le modèle RXVGB (type bloc) génère un vide de 60 torr avec une source minimale (60 slpm à 80 psig d’azote N₂).
| Type | Photo | Fabriquant | N2 inlet | Vacuum port (operating) | Vacuum maximum | Operating temperature | Datasheet |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| RXVGM -Type Module |  | Rotarex | 4.8 to 7.6 bar | 241bar | 100torr | -10°C to +71°C |  |
| RXVGB – type Block |  | Rotarex | 5.3 to 7.6 bar | 241bar | 60torr | -40°C to +71°C | |