Principe du Thermal Mass Flow

Le principe de fonctionnement des ( Thermal mass flow controllers ) débitmètres massiques BROOKS est basé sur les lois de la thermodynamique. Une quantité connue de calories est émise dans un flux de gaz. On mesure la variation de température du gaz qui est proportionnelle à la masse de gaz. Ce principe permet donc d’affranchir la mesure des variations de température et de pression, et d’obtenir un signal de débit massique.

Le système de détection est composé de trois éléments :

  • une résistance de détection de température amont,Brooks MFC sensor
  • une résistance de chauffage,
  • une résistance de détection de température aval.

Les deux résistances de détection font partie des deux branches d’un pont de Wheatstone. Pour un débit nul, le pont est équilibré. Dès qu’il y a débit il y a transfert de calories donc variation de résistances entraînant un déséquilibre du pont de Wheatstone. Le signal qui en résulte est convenablement amplifié et linéarisé.

Les domaines d’application sont variés : Centres de recherches, industries pharmaceutiques, biomédicales, agro-alimentaires, chimiques ou pétrochimiques.

Parmi les différents débitmètres massiques thermiques, on distingue deux catégories :

  • Mesureur simple : Il mesure et retransmet l’image du débit par signal analogique ou digital.
  • Contrôleur de débit : Ce type de mesureur est muni au sein du même instrument d’un régulateur de débit de type PID. Il retransmet et contrôle le débit de gaz paramétré au préalable. Le débit est fixé par le mode analogique ou digital, en entrée ou en sortie.

ModèlePhotoFabriquantTypeFullscale capacity
PrécisionPression max (Bar)Température Max (°C)Signaux IN/OUTDatasheetManuel
SLA5800Brooks InstrumentThermal Mass Flow Controler joint elastomer ou métallique3sccm-2500slpm
1% rate ou 0,7% rate , 0,2%F.S.300
650-5VDC , 4-20mA , RS-485 , DeviceNet , Foundationfieldbustélécharger la datasheet ou le manueltélécharger la datasheet ou le manuel
4800SBrooks InstrumentThermal Mass Flow Controleur
50sccm-40slpm+/-3%F.S. or +/-1%F.S.10500-5VDC , 4-20mA , RS232-485 , Profibustélécharger la datasheet ou le manueltélécharger la datasheet ou le manuel
GF40/80Brooks InstrumentThermal Mass Flow Controleur joint métallique Multi flow3sscm-30slpm+/-1% of rate

10650-5 Vdc / 4-20 mA / Profibus / RS485 / DeviceNettélécharger la datasheet ou le manueltélécharger la datasheet ou le manuel
SLA MF50-63Brooks InstrumentIndustrial Thermal Mass Flow Controleur3sccm-2500slpm1% rate ou 0,7% rate , 0,2%F.S.100650-5VDC , 4-20mA , RS-485 ,DeviceNet, Foundationfieldbus, Profibustélécharger la datasheet ou le manueltélécharger la datasheet ou le manuel
5816 EXBrooks InstrumentIndustrial Thermal Mass Flow Controleur0,01-1000ln/min1% F.S.300650-5VDC / 4-20 mAtélécharger la datasheet ou le manueltélécharger la datasheet ou le manuel

ModèlePhotoFabriquantChannelFunctionPower inputPower outputSignaux IN/OUTDatasheetManuel
Readout 0254Brooks Instrument4Control / Totalizer / Blending 100-240 VAC 50/60 hz15 & 24 VDC0 (1)-5 Vdc,0 (2)-10 Vdc,0 (4)-20 mAtélécharger la datasheet ou le manueltélécharger la datasheet ou le manuel